二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 620B #9315281 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 620B是一種強大可靠的濺射設備，設計用於材料研究應用。采用磁控管布置，使基板加熱程度高，沈積參數控制精確，沈積膜均勻性好。該系統能夠濺射從金屬、合金和復合材料到半導體的各種材料，進一步控制沈積厚度和組成。ADIXEN 620B是圍繞高速旋轉和擺臂機構構建的,該機構能夠將濺射電極從一種材料快速切換到另一種材料,這是多元件薄膜的基本特征。這也確保目標上的電位分布即使在長沈積過程中也保持均勻。該單元強大的控制單元可用於實時監控目標的壓力、溫度、沈積速率、基板偏置、電氣特性等工藝參數。這使得它對於研究應用極為準確、精確、可靠。然後將機器與通用的大型機和用戶界面結合起來。這種組合為大量沈積參數的操縱提供了直觀的界面。它也可用於沈積過程的編程。強大的控制單元還確保了該工具高度自動化，具有快速的反應時間，允許快速的溫度變化和壓力穩定性。ALCATEL 620B非常適合於大多數材料研究目的，因為它設計用於處理各種材料，包括金屬、合金和化合物。內置的目標加熱功能還允許各種材料通過電子束從液體或固體中可靠地、均勻地蒸發。該軟件還包括設施和跟蹤功能，使資產適合多層不同材料的沈積。總體而言，620B是為材料研究應用而設計的高效可靠的濺射模型。具有良好的沈積參數控制和良好的沈積膜均勻性。用戶友好的軟件有助於使設備在廣泛的應用中靈活可靠。