二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600 #9192498 待售

ID: 9192498
Pump (3) Sputter up cathodes size: 8" Load lock Process gas supply: MFC, (3) lines HUTTINGER RF Generator: 13.5 6 MHz, 1.2 kW Impedance matching network.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 600是一種強大的濺射設備,用於將薄膜材料沈積到基板上。這一通用系統具有很高的適應性,允許用戶為任何給定的應用定制它,無論是在塑料模型上創建金屬塗層還是生產集成電路。該單元由三目標濺射室組成,由大功率直流磁控管源供電。源通過屏蔽電纜連接到腔室,然後將要濺射塗層的樣品安裝到腔室內的濺射支架上。集成真空機將腔室壓力保持在薄膜沈積的最佳水平。該工具的主要部件是堅固、高精度的粒子束源。它產生高度均勻和可控的離子束,可以根據任何所需的沈積速率或組成自由調節。該源具有極好的精度範圍,並包含若幹促進可靠和精確操作的功能。這使得它適用於各種各樣的材料沈積任務。ADIXEN SCM 600還有一個氣體引入資產,使用戶能夠在沈積過程中施用反應性氣體形成粘合劑或硬質塗層。它包括全面的可編程配方,允許用戶輕松重復任何濺射過程。該型號可處理最大400mm x 250 mm的樣品,並提供幾種薄膜的選擇,包括鉻、鎢、鋁、銅和金。除了濺射功能外,ALCATEL SCM 600還提供了幾種選項供用戶監控和審查設備性能。它包括一個圖形用戶界面(GUI),顯示任何給定時間點的沈積速率以及室內溫度和壓力。當任何參數超出其指定範圍時,GUI還會顯示系統診斷和警報以發出警報。總之,SCM 600是一種可靠、通用的濺射裝置,適用於各種薄膜沈積應用。其粒束源能夠提供一致的均勻薄膜,而其GUI允許用戶輕松監控和控制沈積過程。
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