二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 650 #9253767 待售
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ID: 9253767
Sputtering system
With loadlock
RF/DC Sputtering (with or without bias)
Ionic cleaning
Process gas: Argon, Nitrogen
Stainless steel chamber, 26"
Diameter: 650 mm
Fitted with port-holes and flanges
Port pumping, 6"
(2) Magnetron targets, 8"
Water flow: 15 l/min
Pressure: 6 bar
Compressed air pressure: 6 bar ±0.5
Dry nitrogen pressure: 1.5 bar
Manuals included
Load lock: 6" Substrates
Substrate holder: (4) Stations
(6) Indexed positions
(4) Transfer positions
(2) Sputtering positions
Rotation: 1 to 30 rpm
Vertical translation: 50 mm - 100 mm
One 3/4 automatic shutter
RF Generator: 2000 W
DC Generator: 3000 W
Pump:
Load lock:2012 A Rough rotary vane pump: 15 m³/h
CHAMBER: 2033 A Rough rotary vane pump: 35 m³/h
Secondary: 5402 CP Turbomolecular pump: 380 l/s
INTER-SEAL: 1004 A Rough rotary vane pump: 4.5 m³/h
Measurement:
Load lock: PIRANI PB 122 Rough vacuum
Chamber: PIRANI PB 111 Rough vacuum
BAYARD ALPERT BN 111 Secondary vacuum
BARATRON MN 121 Process vacuum
(2) Gas lines
Machine control : Programmable logic controller
SIEMENS Simatic with an OP 395
CE Marked
Power supply: 380 V, 3 Phase, 18 kVA.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650是專為工業和學術生產應用而設計的功能齊全的高性能濺射設備。ADIXEN SCM 650在其可靠的基於PLC的自動化系統的嚴格控制下,對各種金屬和非金屬薄膜沈積材料進行精確、經濟高效的濺射。這種堅固的濺射裝置是成本敏感工藝的理想選擇，尤其是在實驗室或研發環境中。采用模塊化磁控管濺射工藝，ALCATEL SCM 650沈積金屬、合金和非金屬塗層，具有出色的附著力、均勻性和階梯覆蓋率。其先進的工藝控制允許qPCR、光發射光譜和俄歇曲線，以及改進薄膜沈積的溫度和時間增強。SCM 650也使得對不同基板用途實施微調變得簡單。PFEIFFER SCM 650的大型抽水室采用優質建築材料建造，並設有機動化閘門進入加工室，使基板的添加或移除更加容易。車門還配有焊接O形環，確保無泄漏環境。該機器可以通過Web瀏覽器進行遠程監控和操作，允許用戶訪問關鍵的工具信息以及實時流程控制和流程數據監控。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650裝有主動氣體控制裝置，包括安裝在模型後方的高壓縮性的氙氣資產。它還有一個清除孔，以盡量減少氦氣的消耗。ADIXEN SCM 650的多功能設計讓使用者可以輕鬆自訂其薄膜塗覆工藝，以配合不同的應用。例如,通過將兩個濺射目標連接到同一磁控管源,很容易實現雙色配置,而通過其各種安裝選項可以實現各種其他配置。對ALCATEL SCM 650堅固耐用的結構進行了測試,以確保即使在最具挑戰性的環境中也能以最高的效率和耐用性運行。它還包括一系列安全功能，如聯鎖和警報，為用戶和整個設備提供最大程度的保護。總之,SCM 650是一個可靠、用戶友好的濺射系統,提供無與倫比的性能和可靠性。它是工業和學術生產應用的完美解決方案，需要精確、經濟高效的薄膜沈積工藝。
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