二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13034 #293650276 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13034濺射設備設計為提供可靠、受控、高質量的薄膜沈積,適用於多種行業。該系統能夠經濟高效地生產具有受控厚度和均勻性的薄膜多層。該單元由兩個磁體、一個靶子和兩個基板支架組成,它們提供均勻的濺射膜沈積。這兩塊磁體相互重叠,形成了濺射區的環形外殼,有助於生產高質量的薄膜塗層材料。整個真空室可以很容易地換出,快速改變濺射過程,產生不同的薄膜材料。陽極和陰極具有屏蔽作用,可以延長濺射目標的壽命。AMAT 0010-13034具有七個過程參數,這些參數由個人計算機通過人機界面控制。這些參數包括濺射功率、濺射時間、沈積壓力、真空質量、基板溫度、氣流和濺射後支撐。通過控制這些參數,可以實現均勻一致的薄膜沈積。目標和基板支架可以很容易地訪問和更換,而不會使濺射室停止工作。目標持有者和基板持有者在濺射過程中進行自感測,並將每個基板保持在恒定溫度下。目標材料可以改變,而不通風煙囪允許快速塗層變化。除了用戶友好的人機界面外,APPLIED MATERIALS 0010-13034濺射機具強大的設計,提供卓越的產量、可靠性和長期穩定性。它被設計成包含多個傳感器,以觀察真空工具的狀態和檢測任何潛在的故障。它還提供各種工藝氣體以及閉環反饋控制系統,以提高吞吐量和質量控制。總體而言,0010-13034是先進的濺射資產,非常適合生產具有高度均勻性和可預測性的薄膜礦床。其用戶友好的界面和穩健的設計使其成為高端薄膜沈積應用的理想解決方案。
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