二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 1200L #9379482 待售
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ID: 9379482
Sputtering system
Target: ITO / SiO2
(3) ORELIKIN LEYBOLD VACCUM / WSU 2001H Dry pumps
(3) STERLING FLUID SYSTEM
(18) SHIMADZU / TMP-1503LM Turbo pump
(2) Air tanks
2019 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 1200L是一種高精度濺射設備，設計用於廣泛的材料沈積應用。該系統采用多源多磁控管配置，每個磁控管可獨立調節，以實現最優工藝控制。AKT 1200L單元是圍繞一個多階段順序源/目標表機制構建的，它允許目標相對於源進行精確、可重復的定位。這使得精確濺射來自多個來源的均勻層成為可能。源/目標表也可配置為角度濺射,允許沈積復雜的形狀和結構。AMAT 1200L機配備了靜態、EMI屏蔽控制機櫃和可編程邏輯控制器（PLC）。PLC用於控制刀具過程,包括源的循環以及每個源的電源級別。EMI屏蔽有助於精確測量和不斷監測工藝參數，如濺射壓力、氙流、射頻功率等等。1200L還具有先進的低振動磁懸浮技術，可最大限度地減少振動並改善均勻沈積。這是通過由小永磁體陣列產生的誘導力懸浮源/目標表來實現的。當配合資產的最先進的自動化，APPLIED MATERIALS 1200L可以用來沈積鋁、銅、鉻、鎢、鈦和其他合金，以及這些材料的氧化物。該模型有多個版本,以滿足特定的應用程序要求。總體而言，AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200L是高精度濺射應用的絕佳設備。它的多源、多磁控管系統允許均勻的層沈積，其先進的自動化確保了一致的過程控制。其磁懸浮技術最大限度地減小了振動，其低EMI確保了精確的測量。簡而言之，AKT 1200L是各種材料沈積的理想選擇。
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