二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600/2 PREHT #9281105 待售

ID: 9281105
Sputtering system.
AMAT Aton 1600/2 PREHT是一種濺射設備,用於將材料物理氣相沈積到基板上。該系統設計效率最高,具有多種特點,有助於其準確沈積物料的能力。它幾乎能夠沈積任何材料,包括金屬和絕緣體,使其成為許多應用的通用工具。Aton 1600/2 PREHT采用了緊湊的設計,可以更有效地利用生產現場的空間。該單元包含兩個目標,可用於將不同材料沈積到基板上,用於各種薄膜堆棧配置。目標的陶瓷進給通銷允許安全接觸和最小的維護和泄漏。它還包含一臺高級RF Auto-Tune機器。該工具能夠自動將產生的頻率調整到不同的基板上,提供更好的溫度和速率控制。Aton 1600/2 PREHT包含許多功能,可提高流程效率、準確性和可重復性。精密真空資產可確保均勻沈積,消除任何汙染風險.它使用了種類繁多的百葉窗、傳感器、控制器和儀表,以確保模型的每個腔室都有一致的壓力環境。它還配備了閉環壓力控制設備,可以自動監控和控制濺射過程中的壓力,以及氣動換樣機構。Aton 1600/2 PREHT還具有強大的自動化和控制系統。它利用多層軟件和硬件來改進單元管理並降低成本。它具有圖形用戶界面(GUI),允許用戶自定義濺射過程。機器還結合了動態過程監控和故障診斷,可以檢測濺射過程中的任何故障或偏差。總體而言,APPLIED MATERIALS Aton 1600/2 PREHT是一種功能強大的濺射工具,可提供最大的效率和準確性。其強大的自動化和控制資產確保了可靠和可重復的生產環境。其緊湊的設計節省了生產地板上的空間,其通用的目標模型允許幾乎任何材料的沈積。該設備具有許多特點,使其成為許多應用的有用工具,包括薄膜沈積和半導體生產。
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