二手 AMCI GT7777 #89910 待售
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ID: 89910
Custom Built DC Sputtering System
Rotating substrate holder
Hoist
CTI 8 cryo pump
AE MDX1K magnetron drive
MKS power supply readout
Variable orifice controller
De-installed.
AMCI GT7777濺射設備是薄膜沈積的綜合系統解決方案.它是一種可擴展、易於使用的工具,可用於薄膜沈積,用於開發和生產應用。GT7777是一個動態系統,它提供了卓越的過程控制和快速濺射效果,可實現經濟高效的軟件包。AMCI GT7777單元非常適合低批量生產、研發或試運行使用。GT7777濺射機采用了最新的技術和多用途的組件,以確保卓越的過程控制和卓越的性能。其組成部分包括高性能薄膜濺射源、用於蝕刻的大功率等離子體源、用於快速改變目標濺射材料的目標旋轉木馬、用於塗層的氣體輔助濺射、強大的原位真空壓力控制工具以及用於困難薄膜應用的可變功率微波等離子體源。此外,資產還具有許多自動化功能,包括自動目標濺射壓力控制、適應性強的工藝配方、高級等離子體輪廓控制以及復雜的測量和分析工具。AMCI GT7777測量膜沈積特性的絕對精度.這個過程可以被仔細的監控和控制,允許重復的,一致的薄膜結果。該模型還提供了一個靈活的平臺,允許用戶將真空清洗、預濺射工藝、晶片邊緣修剪、沈積後處理等工藝附加組件合並。GT 7777的精密設計允許靈活沈積多種薄膜材料,從簡單的鋁薄膜到復雜的合金和復合材料。該設備可以生產出滿足多種應用要求的薄膜,包括平整度、均勻度和電氣特性。AMCI GT7777易於使用且經濟實惠,非常適合開發和生產應用。它專為快速輕松的設置而設計,在經濟實惠的軟件包中提供卓越的過程控制。該系統還在各種薄膜沈積應用中實現了快速準確的薄膜效果。
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