二手 ANATECH Hummer 10.2 #9221457 待售

ANATECH Hummer 10.2是一種先進的濺射設備，設計用於在基板上沈積薄薄的材料層。該系統能夠生產金屬、合金、氧化物和氮化物的均勻薄膜，具有較高的附著力和上升/下降時間。它還通過用戶友好的觸摸屏界面提供了極好的靈活性和控制,從而實現了簡單的沈積參數優化。悍馬10.2采用脈沖直流濺射工藝，確保薄膜生長受控，實際上消除了底物電荷。它的10 「x4」濺射區域允許多層的大面積沈積。腔室設計包括一個多區均勻單元，允許在基板上的任何位置均勻的薄膜沈積。該室還設有若幹用於排空和等離子體控制過程的入口和出口閥，以及用於精確溫度控制的基板加熱器。該機配備了易於使用的手動和自動流量控制的氣體閥陣列，允許用戶在氣體和真空操作之間切換。壓力傳感器允許用戶監視腔室壓力並快速識別工具故障。悍馬10.2還配有多種屏蔽保護裝置，包括隔熱屏蔽，以保持基板免受濺射過程的保護，以及用於均勻性控制的磁性屏蔽。悍馬10.2易於維護，並具備各種安全措施。這包括在發生故障、超壓或低壓時自動關閉模型的互鎖資產。設備的緊湊、統一的設計，讓現場安裝和維護簡單明了。總體而言，ANATECH悍馬10.2是一個出色的濺射系統，廣泛的材料研究應用。其可調基板加熱、氣流和壓力控制為用戶提供了對薄膜沈積的精確控制。其較大的濺射面積和均勻性意味著能夠在多種基板上生產出優質薄膜。該單元以方便用戶和易於維護的軟件包提供精確控制。