二手 ANATECH Hummer VIII #9249717 待售

ANATECH Hummer VIII是一種濺射設備，設計用於將薄膜沈積到低溫和高溫基板上。它具有堅固、高度靈活的平臺，能夠沈積各種材料，包括氧化物、氮化物和金屬。該系統還提供卓越的薄膜均勻性和可重復性，使其成為要求苛刻的應用程序的理想選擇。悍馬VIII包括一個高溫基板室，能夠達到高達800 °C的溫度。這為用戶提供了處理各種高溫基板的能力，也使PECVD塗層得以使用。HuVII還提供了廣泛的濺射目標，包括Si/SiO2和SiC/SiNx，以及介電和金屬選項。該單元的一個特別有利的特點是可以選擇配對或多目標配置,這樣可以優化塗層工藝以生產具有特定特性的材料。ANATECH Hummer VIII包括廣泛的工藝控制,可保持精確的沈積速率和厚度。這可以通過過程參數的組合來實現，包括氣體流量、氣體成分、壓力、射頻功率、濺射速率和溫度。此外，HuVII還提供了對基板運動的自動控制，從而可以優化塗層參數。悍馬VIII是創造高品質薄膜的理想機器，由於其堅固、高度靈活的平臺和廣泛的沈積特性。它非常適合多種應用，包括超導體、透明導體、電介質和磁光膜的沈積。此外,該工具可用於創建多層堆棧,從而允許創建特定的目標膜結構。所有這些特性使ANATECH Hummer VIII成為薄膜沈積的絕佳選擇。