二手 ANATECH / TECHNICS Hummer V-A #159053 待售

ANATECH / TECHNICS Hummer V-A
ID: 159053
Sputtering system, with CEA II Includes: APD Cryogenics, DE202, expander module.
ANATECH/TECHNICS悍馬V-A濺射設備是用於薄膜物理氣相沈積(PVD)的先進設備。它是一種先進的沈積技術,結合了磁控管濺射的高均勻性和電弧蒸發的柔韌性。濺射系統的功率高達40千瓦,因此適用於許多不同的應用。它由一個直流脈沖電源和一個PVD室組成。電源配有圖形用戶界面,允許用戶設置和監視設備參數。PVD室有一個長方形或圓形的目標架,帶有機械臂以保持目標。它是真空密封的,以便在高真空或低壓條件下操作。該室還設有隔熱基板支架和氣體噴射機。ANATECH悍馬V-A工具具有高度的重復性和重復性。采用直流濺射法沈積均勻性好、層層組成一致的薄膜。資產也高度自動化,可與金屬、氧化物等多種材料配合使用。它有一個電子槍,是理想的EVA過程,因為它可以很容易地調整不同的材料。該模型還包括一個冷卻設備,專門為促進目標和基板的冷卻而設計。冷卻系統由一組冷卻目標、基板和腔室零件的冷卻線圈組成。冷卻裝置有助於通過降低熱應力來提高沈積膜的質量。TECHNICS悍馬V-A機也可以與其他濺射設備並用,如集群工具。這些設備的組合有助於提高流程靈活性和縮短周期時間。此外,該工具還配備了防止大功率電源意外放電的電子互鎖資產等安全功能。總體而言,ANATECHHummerV-A濺射模型是一種堅固可靠的物理氣相沈積裝置。它是一種用途廣泛的設備,可以在廣泛的應用中使用,並在均勻性和可重復性方面提供優異的性能。它的自動化性質使其易於使用,並配備了安全功能,以確保操作以安全的方式進行。
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