二手 ANATECH / TECHNICS HUMMER VI-A #9032075 待售
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ID: 9032075
Table top sputtering system
3" diameter cathode
4" diameter Pyrex chamber
LEYBOLD D1.6A dual stage pump.
ANATECH/TECHNICS HUMMER VI-A是為薄膜沈積而設計的最先進的濺射設備,用於表面和材料的滅菌和塗層。它具有先進的高壓直流磁控管濺射系統,具有良好的均勻性.ANATECH HUMMER VI-A憑借其通用的單元設計,非常適合一系列濺射技術,如物理氣相沈積(PVD)、化學氣相沈積(CVD)和原子層沈積(ALD)。濺射機利用旋轉目標特性,允許使用黃金、鋁和不銹鋼等各種目標。通過查看窗口,目標在濺射過程中連續可見。使用高質量、可靠的夾具將目標有效、牢固地夾緊並鎖定到位。該工具采用高端技術,以確保長期運行和嚴格的沈積均勻性在廣泛的基板尺寸。TECHNICS HUMMER VI-A還提供數字定時、脈沖控制和自動關閉功能,允許用戶精確控制沈積周期。資產還提供了許多不同的工藝參數,如目標到基板的距離、施加的功率、氣流、壓力和脈沖寬度。該模型具有廣泛的安全協議,具有內置的過電流保護、電壓限制和故障檢測功能。濺射設備設計精度極高,包括一個內置的閉環控制系統,以優化沈積速率和均勻性。該裝置具有先進的位置感測機,可精確計算基板與目標之間的距離,並將其保持在幾微米以內。這有助於確保沈積速率的一致性。為了快速準確地沈積薄膜,HUMMER VI-A具有真空工具,可提供5.0 x 10-3 Torr的最大壓力和能夠達到5 x 10-9 Torr範圍內的極限壓力的真空抽水設備。該模型提供了廣泛的工藝氣體,並配備了綜合溫度感測設備,以提高制備過程的準確性。ANATECH/TECHNICS HUMMER VI-A是為各種材料和底物的薄膜沈積而設計的多功能濺射系統。該工具具有高端控制單元、自動安全協議和可定制的沈積機,是滿足專業技術人員和研究人員特殊需求的強大解決方案。
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