二手 ANATECH / TECHNICS HUMMER X #9307601 待售

ANATECH/TECHNICS HUMMER X是一種濺射設備，設計用於將薄膜沈積到矽片等平板材料等基板上。該系統利用獨特的蒸發工藝在300°C至800°C的溫度下沈積薄膜。該單元包括了一個雙crucible設計，允許兩種不同的材料同時裝入腔室。它是一臺全自動機器，內置人機界面（HMI），使用戶能夠控制沈積參數，如壓力、溫度、濺射功率等設置。用戶還可以為特定應用程序編程自定義配方。濺射機具有超高真空高溫操作的真空室。這可以在不使用冷凍泵的情況下達到10-6 torr的底壓。腔室設計還具有高空間分辨率和11英寸源到基板的距離，從而能夠精確控制薄膜的均勻性和厚度。由於采用了雙熔爐設計，該工具允許同時沈積兩種不同的材料，使用戶能夠創建組成和厚度各異的多層堆棧。ANATECH HUMMER X還包括一些安全功能,例如互鎖安全開關和壓力開關,以改進安全預防措施。資產還配備了ULPA濾波器，確保99.97%的大於0.3微米的粒子被濾掉。此外，該模型能夠保持溫度均勻度± 1°C，確保整個基板表面均勻沈積。總體而言，TECHNICS HUMMER X是一種功能強大的濺射設備，具有多種特性，設計用於將高質量薄膜沈積到各種基板上。它的雙柚子設計允許同時沈積多種材料，為用戶的塗層要求提供更大的靈活性。該系統還包括幾個安全功能，如互鎖安全開關和壓力開關，確保其操作員的安全環境。HUMMER X具有高精度的溫度控制和高分辨率的沈積控制，是薄膜應用的理想裝置。