二手 APPLIED VISION ARx10 #9358080 待售

製造商
APPLIED VISION
模型
ARx10
ID: 9358080
優質的: 1995
Sputtering system With pure Zirconium and Silicon targets (10) IST Lenses Power supply: 3x110 V, 3 Phase (Main supply) 220 - 240 V, Single phase 1995 vintage .
APPLIED VISION ARx10是專門為研發目的而設計的濺射設備。它具有單電源和雙電源的組合,可用於多功能濺射應用。系統的配置旨在使各種基板的高效加工,如玻璃、金屬和半導體材料。ARx10的最大射頻功率為10kW,距離範圍為90mm-200 mm,工作包絡為500 mm (x)-325mm (y)-150 mm (z),以容納不同尺寸的基板。扭矩功率部分使用三個步進電機來控制theta和phi,以精確控制濺射角度。它有一個高真空室,周圍有兩個升降泵、一個渦輪泵和一個機械泵。一個獨立的差動泵送裝置允許濺射沈積在不同壓力範圍的基板上,以適應不同的濺射應用條件。自動基板處理機為用戶提供了對濺射過程的全面控制。高級控制功能允許用戶在濺射過程中監視和修改氣體流量、入射角和光束功率等參數。腔室的溫度通過主動溫度調節工具保持在恒定水平。此外,資產還配備了機動機械臂,以方便樣品轉移。APPLICED VISION ARx10利用了一系列濺射技術,包括失衡濺射、遮罩濺射、接觸濺射和共濺射,使各種具有優異粘附性能的薄膜能夠高效、精確地沈積。該型號還配備了磁性介質交換設備,可方便快捷地交換介質和基板。該系統體積小巧,設計靈活,非常適合在實驗室或生產環境中使用。憑借直觀的用戶界面、全面的控制功能和高效的媒體處理單元,ARx10為濺射應用程序提供了全面的解決方案。
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