二手 BALZERS 450 #170848 待售
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ID: 170848
晶圓大小: 3"-4"
Sputtering system, 3"-4"
Process: large targets (~9"x5") in a sideways-sputter configuration
Targets sputter inward onto a rotating drum.
Pallets: 3" and 4" wafers.
Drum: Raises vertically out of the top of the chamber
Hydraulic lift: Failure, but using an external hoist to open the chamber
(3) Target slots: Aluminum, Tungsten, Silicon,
Fourth slot is currently set up to perform an RF etch of the substrates and drum
System has never seen any gold or photoresist inside the chamber
Process gas: Argon
Vent gas: Nitrogen
Cryo pump: base pressure of ~5e-7 torr. (~8 hours to pump out)
(2) Power supplies
RGA: 1-100 AMU
Software
PC: Windows 98
Currently installed in a fab.
BALZERS 450是由全球領先的光學元件和系統制造商Leybold Optics制造的濺射設備。該系統設計用於各種工業、科學和研究應用，包括在受腐蝕、磨損和其他環境因素影響的表面上生產高導電塗層。450由幾個部件組成，包括一個濺射室、一個泵站和一個沈積單元。濺射室容積四百五十升，由不銹鋼材料與鉬和鉑塗層表面構成。腔室的墻壁襯有可移動的反射器和真空密封的固定框架。這提供了均勻的濺射和高度的可重復性和良好的工藝優化。該腔室還包括一個旋轉目標和一個可調節的升力高度，可用於調整沈積參數而不更換目標。泵站包括機油密封旋轉葉片泵、機械助推器和高真空泵。這確保了極好的高性能，每小時泵送能力高達96立方米，正常運行壓力高達1毫托。另一方面，沈積機的設計目的是將目標材料以受控速率濺射到基板上。這是通過使用準直器和目標快門來聚焦濺射離子束，以及氣流工具來確保所沈積材料的完美化學計量來實現的。BALZERS 450濺射資產提供了從高密度光學到細粒紋理表面的廣泛沈積過程。它還提供了一個具有可選實時監控功能的自動化過程控制模型,從而實現了一致的產品質量和較低的過程成本。此外,其工程組件提供可靠的性能,從而提高過程的重復性和盈利能力。450是一種安全可靠的設備，旨在滿足苛刻的工業、科研應用要求。
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