二手 BALZERS 450 #9241801 待售
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ID: 9241801
Co-sputtering system
(3) DC Power supplies
RF Supply
Back sputter
Water cooling / Heat manifold
Cryo / Compressor / Mechanical pump.
BALZERS 450是一種高科技濺射設備,用於塗覆各種不同的表面,並具有纖薄、均勻的層。該系統由於其緊湊的尺寸和普遍性,為材料研究人員和工程師提供了廣泛的可能性。450以中型套件提供世界級性能。這個濺射單元采用了四極磁控管集束源機制,允許在同一腔室內使用多達四個不同的目標。這使得它非常適合沈積具有高均勻性的多組分層。BALZERS 450提供快速釋放目標夾具和快速安裝真空密封,使用戶能夠輕松交換目標並維護真空室。它通常在生產環境中用於快速、可靠的層沈積。450還具有在直流和脈沖功率下以高達3 kW的速度運行的高功率單元。這樣就可以實現異常統一、高度附著和獨特的層特性。該裝置的絕對壓力平衡已被最小化,使其得以實現真空離子沈積(VID)工藝。這一過程確保即使在降低的基板溫度下也能沈積高質量的厚層。BALZERS 450采用多氣源設計,每個組件可通過獨立的流量控制輕松調節。這使得在創建復雜的礦床時可以獲得很高的靈活性。該裝置還能夠同時處理兩種不同類型的基板,這使得塗覆具有模具、晶體管和其他組件的復雜表面具有極高的精度。最後,450配備了先進的PLC控制自動化和連接的過程控制系統如IPM、SCADA或Fieldbus。這樣就可以對特定的工藝配方進行編程,並方便地監控工藝狀態。總之,BALZERS 450是一種功能強大、精密的濺射機。它是一種小巧、高效的裝置,能夠在各種表面快速、可重復地沈積各種薄薄、均勻的層。對於需要精確、高質量層沈積的材料研究人員和工程師來說,這種裝置是理想的選擇。
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