二手 BALZERS BAS 450 #293676890 待售
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ID: 293676890
Sputtering system
(2) DC Power supplies with switch boxes
DC Power supply (Spare parts)
DC Configuration with RF Etching
RF Cathodes with match boxes
DC Positions
RF Power supply
Rotary drive with encoder controlled motor
Shutter drive
Control rack
MKS 647C Multi gas controller
PFEIFFER Turbo and roots duo pomp
House cool net temperature: 6°C
(2) Rital build water cabinets.
BALZERS BAS 450是一款先進的濺射設備,采用先進的技術和豐富的設計基礎。高性能PVD塗層系統提供高通量濺射工藝,並配有優化的快速下泵腔和7個底板目標,提供多層能力。該裝置提高了薄膜沈積的均勻性,並以較小的地板空間生產高通量的產品。它非常適合半導體和其他消費品行業的各種應用。BAS 450的大型機極其堅固耐用,可輕松處理極端溫度和化學腐蝕環境。它確保了最高級別的過程穩定性和可重復性。這種緊湊的機器只需很少的維護成本,並提供快速可靠的操作.BALZERS BAS 450上的高效溫度控制工具提供精確且均勻的溫度,以提高濺射原子的可控性。資產的最大基板尺寸為8英寸,腔室載荷容量可達5個碎片。BAS 450采用創新的MULTIPULSION®技術來增強流程可重復性。該模型利用高壓和高離子轟炸力,在沈積膜中提供優越的附著力、保形塗層和機械性能。在溫度高達450°C的極端溫度條件下,用於厚度增大、均勻性較高的層層的快速沈積過程。BALZERS BAS 450集成了多項創新技術,非常適合各種工業應用。它是FCC現場控制和計算機集成操作,提供卓越的過程控制能力。該設備既可批量使用,也可連續應用。內置自檢的數量也保證了過程的安全性和性能。此外,該系統還具有先進的過程監控能力,以確保卓越的薄膜保護和更高的質量控制。BAS 450是為滿足高端生產要求而設計的,可用於鋁、鈦、鎢和銨等多種材料。它具有均勻的濺射產量和均勻的塗層厚度等優異的性能,使BALZERS BAS 450在工業應用中具有很高的可靠性。該設備擁有成本低,安全特性增強,非常適合滿足苛刻的工業應用需求。
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