二手 BALZERS BAS 450 #293705804 待售
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ID: 293705804
Sputtering system
Water cooling manifold
Turbo inside cabinet
Radio Frequency (RF) units
Vacuum seal is broken.
BALZERS BAS 450濺射設備是一種高功率密度、大面積濺射系統,設計用於精密薄膜沈積應用。它具有一個大的、模塊化的沈積室,可以配置為大或小的零件和基板。該裝置對金屬、氧化物、氮化物和硝酸鹽等多種材料具有較高的均勻性、較高的沈積速率和優異的性能。其特點包括先進的電源、自動調諧的DC/RF匹配網絡、高亮度顯示屏、具有直觀圖形用戶界面的精密工藝控制器以及高速移動機構。BAS 450能夠提供高質量的材料濺射,即使有大的零件和基板。機器中使用的專有技術提供了具有最低溫度剖面的大體積材料沈積,包括零熱漂移。由於其先進的電源,該工具可以輕松提供更高的功率濺射密度,並確保大表面上均勻的薄膜厚度。BALZERS BAS 450還允許加工多種材料,包括耐火金屬、合金和異國情調的材料。系統軟件界面使用戶可以輕松配置濺射過程,同時監控沈積速率、均勻性和溫度配置文件。自動調諧功能可確保資產自動為任何應用程序選擇最佳操作點。BAS 450還具有用於精確基板對準和位置控制的大型移動機構。該模型具有將大基板移動至450mm的能力,適合大樣品和產品加工。BALZERS BAS 450設備在沈積速率、均勻性、可重復性和功率密度方面提供了卓越的性能。它是專門為需要高容量、高質量薄膜沈積的工業生產應用而設計的。此外,系統易於操作、維護和使用直觀的圖形用戶界面。BAS 450濺射裝置的性能最可靠,提供經濟高效、優越的薄膜沈積,是工業應用首選的濺射機。
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