二手 BALZERS Circulus M 95/12 #9137154 待售

BALZERS Circulus M 95/12是一種先進但易於操作的濺射設備，用於沈積各種應用的薄膜。該系統具有高度精確的無意義電磁發生器，能夠在高達95 keV的能量下濺射，磁場可調至12 Tesla，使用戶能夠準確確定其過程所需的沈積參數。發電機連接到一個可旋轉的陰極，該陰極可以被轉動以改善基板上濺射材料的均勻化。選擇性濺射可以通過在陰極周圍安裝額外的電極來進一步增強。該裝置專為高產量而設計，最大基板尺寸為200 x 200毫米，圓形孔徑直徑可達12.5厘米。它裝有具有獨立氣壓控制功能的高容量氣流控制器（GFC）機，可實現非常精確的濺射過程控制。該工具還提供高精度電壓掃描功能,並通過其可選的自動沈積套件提供可變溫度和功率調制,進一步提高基板的均勻性。BALZERS Circulus M 95/12適用於廣泛的濺射應用，包括磁記錄介質、薄膜晶體管、電容器、高端光學、MEMS器件。此資產具有高度可靠和堅固的特點,並有24個月的零件和勞動保修作為後盾,並經認證符合CE和UL標準。BALZERS Circulus M 95/12具有用戶友好的界面、數字控制中心和自動事件記錄功能,是研究、原型設計和生產濺射應用的理想機器。