二手 BALZERS / EVATEC MSP 1000 #9164752 待售

BALZERS/EVATEC MSP 1000濺射設備是為各種材料上的薄膜塗層而設計的高端系統。它是一個多室單元，允許在濺射沈積中使用多個沈積源。這臺機器是首創的包括二次電子發射監測器，確保最佳性能。該工具采用自動彈出機制，便於基板傳輸。資產有四個可互換的濺射源，每個濺射源能夠按厚度、組成或多層沈積進行塗層。其來源為氮氣/氙氣組合，濺射速度高達24毫巴。EVATEC MSP 1000有一個過程反應室，其載荷鎖可同時容納多達六種底物。該型號可容納多達500 x 500 mm的基板，也有能力在更大的基板上塗上額外的附件組件。底物溫度可由25°C調節至800°C。利用先進的微處理器控制單元對沈積過程進行監測和控制。此單元與PC連接,可精確控制沈積參數。該設備是為確保均勻沈積和減少汙染而建造的，包括波紋管密封閘閥和真空泄漏檢測器。該系統配有一個可選的自動氣體輸送裝置，對氣體混合物進行精確、方便的控制。氣體輸送機用氣體管線連接到反應室。這條線也與濺射源相連，避免了手動氣體交換的需要。濺射源具有步進電機和編碼器，用於精確的位置控制。BALZERS MSP 1000是一種用於薄膜沈積的高度先進的濺射工具。憑借其反應性濺射源、沈積控制特征和安全措施，該資產可處理各類沈積過程。其先進的控制單元、氣體輸送模型等特點，確保了準確高效的沈積，汙染最小。