二手 BALZERS HVS-107 #9254561 待售

BALZERS HVS-107是列支敦士登BALZERS公司開發的一種高真空濺射設備，用於將薄膜塗層沈積在各種工業應用中的基板上。該系統采用超高真空室，結合幾個獨立的濺射源，提供了一種強大而通用的塗層應用手段。HVS-107室由一個不銹鋼真空容器組成，該容器的結構是用於向下疏散至0.1毫巴的底壓。室內再用電離氣體預制，以促進基板上均勻濺射。靜電安全屏蔽為高能等離子體放電提供額外的保護。該腔室設有多個端口，可連接到一系列用於抓握基板的專用工具和夾具，以及一系列源，包括磁控管、等離子體和ECR源。BALZERS HVS-107的濺射源是獨立控制的，允許同時或交替沈積多種材料。每一個源都有一個定制設計的石英圓頂，內襯精選的電極材料，並背靠永磁以產生離子等離子體。這種等離子體保持在高溫，然後指向基質。通過使離子密度和電壓保持在足夠的水平，塗層沈積過程可以高度重復和高效。HVS-107單元能夠實現較高的沈積速率,並且可以沈積各種材料-從金、鋁、鈦等金屬到氮化矽等電介質。該機還可以沈積復合材料塗層，該塗層由多個組件組成，以提高性能。當與可選的串聯監控傳感器結合使用時，可以用精確的設置對工具進行編程，以確保可重復性和與每個塗層周期的一致性。BALZERS HVS-107是一種強大而高效的濺射資產，能夠沈積具有出色均勻性和可重復性的高性能塗層。該模型旨在在廣泛的工業和技術應用中提供可靠和精確的沈積，如醫療植入物、半導體元件和光學元件的生產。