二手 BALZERS LLS 801 #9171464 待售

BALZERS LLS 801濺射設備是一種先進的真空處理工具，用於在各種基板上制造防護塗層。它的設計目的是將目標材料的薄層沈積在基板的表面上，以便產生一種具有光學吸引力、化學惰性和機械耐用的保護塗層。LLS 801濺射系統建立在BALZERS著名的LLS系列系統的基礎上,它提供了更好的均勻性和沈積率,同時保持了卓越的工藝重復性。BALZERS LLS 801濺射裝置由幾個重要的子系統組成，其中包括： *射頻電源：此子系統提供了一種產生濺射所需射頻功率的方法。*目標磁體組件： 此子系統包括兩個電磁體和控制電子設備,用於在目標和基板之間的間隙區域保持穩定的吸引力。*目標組件： 目標組件容納目標材料,並具有連接的射頻電極。*基板組件： 基板組件包含基板支架和接地護罩。*真空機： 該子系統由擴散泵、粗加工閥和渦輪泵組成。LLS 801濺射工具的工作原理是基於物理濺射過程。RF電源從外部電源產生RF電源,然後直接耦合到目標組件。這會在目標和基板之間產生吸引力，使目標材料燒蝕後沈積到基板上。由於射頻電源通常在13.56 MHz附近運行，目標幾乎一直處於蒸氣等離子體狀態，這有助於進一步提高均勻性和沈積速率，由BALZERS LLS 801濺射資產提供。再者，目標磁體組件內的兩個電磁體被用來幫助在目標和基板之間保持穩定的吸引力，這有助於確保每次都有均勻的塗層。磁鐵還可以減少目標中耗散的功率,從而使LLS 801濺射模型特別節能。BALZERS LLS 801濺射設備用途廣泛,能夠濺射多種材料。該系統廣泛應用於醫療器械制造、電子元件制造、光學生產、航空塗料等行業。總體而言,LLS 801濺射裝置是在各種基板上創建薄保護塗層的特殊工具。它是一種可靠、節能的濺射機，每次均能快速高效地沈積均勻薄膜。它具有兩個磁體保持穩定的吸引力以確保最佳沈積均勻性和速率的額外優勢。