二手 BALZERS LLS 801 #9199165 待售

BALZERS LLS 801濺射設備是一種多功能工具，旨在提供高效、精確的高濺射速率薄膜沈積。該系統配備了三袋式炮塔，允許以不同的濺射速率一次最多沈積三種材料，從而導致均勻的薄膜沈積。其高容量的鎖載單元允許快速安裝和拆卸基板，提供更高的效率。該機由一個大的工作室進一步增強，允許最多四個直徑最大180毫米的基板被處理。LLS 801采用模塊化設計,允許進行多種配置以滿足特定需求。利用三級渦輪真空泵，達到7x10-8 mbar的底壓。該工具配有85 MHz射頻電源,可提供高達800W的超高功率級別,以獲得最佳的薄膜質量和濺射速率。可選的脈沖電源也可用於更高的沈積速率。BALZERS LLS 801采用自動微波基板加熱模塊，可實現高達400°C的精確均勻加熱。利用湍流發生器進一步加強了這一進程，該發生器有助於防止結核，甚至確保目標的使用。由於采用了環掃磁性限制和開放通量例外,從而減少了粒子排斥並提高了質量和薄膜覆蓋的線性度,因此可以改變濺射模式。LLS 801是一種多用途、精密的濺射資產，能夠產生高效、精確的具有所需性能的薄膜沈積。它的模塊化設計、多種配置和增強的功能使它能夠滿足各種應用程序的需求。BALZERS LLS 801以其自動微波基板加熱模塊、高效的鎖載模型和超高功率水平，是薄膜沈積的理想解決方案。