二手 BALZERS LLS 801 #9240378 待售

BALZERS LLS 801
製造商
BALZERS
模型
LLS 801
ID: 9240378
晶圓大小: 6"
Metal sputtering system, 6" Chemicals: Cr, TiW, NiV, Au, SQ On board water pump.
BALZERS LLS 801是為生產廣泛的薄膜和塗層應用而設計的濺射設備。利用陰極電弧沈積(CAD)技術,提供高沈積速率,具有良好的材料轉移、高膜均勻性和對膜參數的高度精確控制。該系統具有最先進的組件和直觀的軟件,使其成為研究和生產活動的可靠、可靠和高效的選擇。LLS 801是一種簡單、緊湊的設計,可以安裝在密閉空間中。它集成了真空組件,包括一個渦輪分子泵,可以保持清潔的環境和高水平的真空。該裝置還包括一個帶有閥門和管道的氣體箱,能夠將加工氣體引入真空室中。另外,可以通過加熱壁來調節腔室的溫度。該機器采用基於PC的高級用戶界面,具有直觀的編程、可視化和數據采集工具。這可用於精確控制和監控影響濺射過程的多種參數,如功率水平、目標成分、基板溫度、源氣體流量等。這有助於確保濺射膜內的均勻性和提高可重復性。該工具非常適合為各種材料制備薄膜,包括半導體、電介質、金屬、絕緣體和聚合物。薄膜沈積厚度、組成和結構可以微調,使其成為從光電子和顯示裝置到儲能等微電子裝置等多種工業應用的絕佳選擇。BALZERS LLS 801資產為用戶提供了創建高度定制的薄膜的靈活性。此外,該模型還提供了對所有沈積參數的精確控制和對整個晶片的高度均勻性。該設備易於使用,具有用戶友好的軟件和直觀的圖形用戶界面(GUI)。這使得它非常適合研究和生產環境。
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