二手 BALZERS LLS 802 #293813030 待售

BALZERS LLS 802是為工業規模生產而設計的先進濺射工具。該設備利用低功率射頻發生器將材料暴露於電子束，然後將其沈積在基板上。該濺射系統的腔室尺寸為800毫米x 400毫米，在大面積上提供高度均勻、無缺陷的薄膜沈積。它還提供各種沈積參數，如溫度和輸出功率。LLS 802單元是各種薄膜材料濺射的理想選擇。它可以沈積鋁、金、鎳、銅和鈦等薄膜。該機還包括一個用於對基板進行濺射清洗的中央閘門，以及基板支架、氣體噴射器和高頻接地。該工具可用於薄膜晶體管、電子元件、薄膜電池等多種薄膜的濺射。當涉及到塗料時，該資產還提供了靈活性，因為該模型可以針對任何需要通過改變電性能來應用的薄膜進行定制。該設備可用於在彎曲表面塗抹介電、導體和半導體薄膜，以及粘合層、擴散屏障、氧化層和薄膜。BALZERS LLS 802還配備了皮帶驅動的基板運輸機和1.3*10-3 mbar小底壓的真空室。這樣可以在受控環境中實現高質量的濺射過程。該系統還提供從25°C到400°C的一系列溫度控制選項，允許各種沈積過程。LLS 802濺射裝置是為可靠和高效的過程控制而設計的.它包括許多安全功能，如自動門互鎖、緊急停止和緊急關閉閥。該機器還提供易於使用的圖形用戶界面（GUI），用於流程自動化、數據采集和報告生成。BALZERS LLS 802是工業生產中薄膜層濺射的理想工具。其各種特點和尖端技術使其能夠達到薄膜沈積的最高標準。它旨在為用戶提供高均勻性、良好的可重復性、無缺陷層和高效的過程控制。