二手 BALZERS LLS 802 #9313125 待售

BALZERS LLS 802是一種最先進的濺射設備,旨在為各種濺射應用提供先進、高效的沈積工藝。該裝置能夠使用多達8種不同的濺射目標，允許最多8種不同材料的多層沈積。由於其先進的電源技術，它還具有很高的工藝可靠性，確保了穩定、高性能的濺射工藝。LLS 802的濺射速率可以從每小時0.1微米調整到每小時0.2微米，具有出色的均勻性和沈積率穩定性，同時大多數應用的均勻性>98%。這使得從薄磁膜到大面積顯示器等廣泛應用的濺射過程效率最大化。該系統具有獨特的自動化功能，具有可用於多個過程的全自動負載鎖，以及用於精確控制濺射過程端點的可選計算機控制的自動端點檢測。它還具有遠程控制功能,允許在過程進行過程中進行電視監控。該單元是熱穩定的，保證了其表面溫度的均勻性，從而給出了沈積過程的均勻性。BALZERS還具有惰性氣體供應，可用於在較低溫度下的濺射蝕刻和濺射沈積。此外，它的載荷鎖具有20°C至1000°C的溫度範圍，允許精確控制濺射條件和過程穩定性。此外，該機具有強大的軟件，允許對濺射參數進行精確的操作員控制，增強原位過程監控，以及多個過程和終點控制的自動化。其內置的Vacuum Inverter Technology允許快速停機時間，以及保持和控制濺射處理所需的高真空的能力。總體而言,BALZERS LLS 802是一種功能強大且可靠的設備,具有廣泛的功能集,非常適合多種類型的濺射應用。它提供了高度的過程控制和準確性，以及先進的自動化能力和強大的軟件，從而提高了沈積過程的效率並確保了可靠的濺射過程。