二手 BALZERS LSS 310 #9040205 待售

BALZERS LSS 310是一種最先進的濺射設備，設計用於在包括晶圓和金屬在內的一系列基板上進行高精度金屬化。其特點是具有超高真空底座和快速泵浦，以及低電流密度等離子體源的高質量，可重復沈積。該系統裝有六個磁控管濺射源，每個腔室三個。每個腔室都有一個PVD源，有三個專用目標和一個高單側覆蓋濺射塗層。BALZERS具有基板定位單元（SPS）和自動調諧功能,可實現精確沈積。它還設計有閉環有源氣體輸送機，可以更精確地控制沈積過程。此外，有源熱管理和有源溫度再分配系統能夠在廣泛的溫度範圍內實現高效和一致的沈積。BALZERS工具還包括具有稀土磁鐵的高度可靠的機械設計，用於長期穩定運行。LSS 310兼容廣泛的基材形狀和加工要求，例如清潔和蝕刻。它非常適合各種塗層，包括硬質、薄膜和介電層。作為一種先進的濺射資產，它還為所有濺射沈積參數提供動態控制，提供一致、可靠的受控和目標厚度水平的沈積。該模型還設計為符合人體工程學，易於使用。它配備了完全自動化的基於配方的沈積管理設備，能夠有效地控制過程。故障和錯誤很容易識別和糾正,因為所有系統都通過單個多功能顯示器相互連接。此外,BALZERS系統還具有幾個數字高級通信端口,可直接將數據傳輸到用戶的計算機,以便進一步分析和研究。總體而言，BALZERS LSS 310是一種先進可靠的濺射裝置，為用戶提供各種金屬和合金的精確、可重復和均勻的沈積。機器的自動化沈積管理工具簡化了用戶體驗，其先進的過程控制和有源溫度再分配系統在廣泛的溫度範圍內產生可靠、可重復的沈積。該資產適合各種研究需求，以及生產和商業應用。