二手 BALZERS SCD 040 #48452 待售

BALZERS SCD 040是為精密薄膜沈積而設計的高性能濺射設備。平臺設有五個製程室、兩個主沈積室、兩個底部加熱與冷卻系統（熱系統）、一個露天冷卻室、以及一個高解析度的平面基板臺。這些腔室可用於物理氣相沈積（PVD）、化學氣相沈積（CVD）以及金屬和介電膜沈積的熱蒸發技術。該系統還提供了激光燒蝕和低溫等離子體增強沈積的能力。主要沈積室的特點是磁控管放置在可旋轉的支撐中。這使得濺射率大大提高，而且能夠立即將目標材料從一個腔室轉移到另一個腔室，而不會受到汙染。底部加熱和冷卻系統采用電阻式熱源，具有精確的溫度控制，以實現精確的加熱和冷卻速率。該裝置能夠處理大而厚的基板，非常適合達到± 0.2°C的均勻溫度均勻性。內部冷卻機能輕松維持室內的理想溫度範圍。SCD 040的露天冷卻室裝有高靈敏度熱電偶，用於檢測室內突然的溫度變化。該工具還具有高分辨率的平面基板表,其設計目的是確保兩個空間方向的平行度均在1.5 μ m以內±。該表與一種專有的無工具基板夾緊技術相結合，這種技術大大減少了在沈積過程開始之前附著基板所需的時間。該資產還為塗層材料提供多種配置選項，例如鈦合金、氧化鋁和氮化鈦。它還配備了一種獲得專利的立體成像質譜儀，能夠進行串聯、實時、多點等離子體密度分析，以控制沈積過程中的質量和性能。最後,BALZERS SCD 040設計為可遠程控制和現場維修,允許從任何遠程位置進行直接通信和配置。這使得它非常適合研發以及工業和分析應用。