二手 BALZERS ST 801 #9200579 待售
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BALZERS ST 801是由知名薄膜沈積設備制造商BALZERS設計制造的脈沖直流濺射設備。ST 801系統旨在為各種應用高效地濺射薄膜。它提供了高水平的控制和精確度，能夠將各種材料的多達8個目標濺射到基板上以及兩個電子束槍上。它還允許簡單的過程優化，具有實時的圖形用戶界面來監控過程參數。BALZERS ST 801具有非常大的真空室，能夠濺射多達8個目標。腔室壓力可維持在1至1E-5 hPa之間。該單元還包括一個渦輪分子泵用於快速泵降和精確控制腔室壓力。這臺機器能夠產生各種無功和無功濺射技術，包括無功直流濺射，以及高密度等離子體增強直流（HiPED）和磁控管濺射。ST 801還具有高度先進、用戶友好的實時圖形用戶界面（GUI）。此用戶友好界面可輕松訪問主要參數,例如目標厚度、電流、功率和頻率設置以及其他操作參數。此外，GUI還包括專用的慢跑輪來微調選定的操作參數，可以幫助快速、精確地優化濺射過程。BALZERS ST 801還具有兩個電子束噴槍，提供非常薄層的高分辨率、高速濺射。這些槍也可用於高分辨率蝕刻應用。這些槍能夠在金屬、矽酮和半導體等各種基板上產生精細的圖案。ST 801濺射工具提供可靠的性能和操作簡潔性，使其適用於工業和研究應用。該資產的設計易於使用,可實現快速、精確和經濟高效的濺射過程優化。該模型非常適合那些想要精確控制其薄膜沈積過程並需要高質量薄膜結果的人。
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