二手 BALZERS / UNAXIS LLS 900 #9006623 待售

BALZERS/UNAXIS LLS 900濺射設備是一種工業級真空濺射機，設計用於半導體和其他先進的納米技術應用。UNAXIS LLS 900是一個模塊化、多室、多位置濺射系統，配有四個4目標濺射源。四個分庭各可獨立運作。該單元適用於各種沈積過程，包括順序濺射、同時濺射和同時混合過程。BALZERS LLS 900主腔室采用高質量的不銹鋼和高真空進給通路，保證了清潔、一致、持久的運行。其內部尺寸為18 "x 18" x 24"（460mm x 460mm x 610mm）。腔室容積約為12立方英尺（340升），真空室內的底壓為10-7托爾（1.3e-6 Pa）。主室的大工作區域增加了最多四個額外的外室，每個室包含一個4目標濺射源。LLS 900配備了最新的濺射機技術。它集成了閉環控制系統，具有高可靠性的電源工具，並利用精密的計量技術進行精確的過程控制。4目標濺射源中的每一個都由四個磁控管或二極管磁控管濺射源組成，排列在一個旋轉的磁頭上，以提供出色的沈積均勻性。為了增加方便，可以在磁控管/二極管濺射頭內自動或手動改變目標。BALZERS/UNAXIS LLS 900還與各種工藝材料兼容，包括金屬、陶瓷、合金、氧化物和氮化物。資產的多功能性和靈活性使其適用於半導體制造、薄膜器件制造、工業塗層等領域。此型號可滿足最苛刻的生產要求,可提供延長的保修期,隨時間推移提供卓越的性能和可靠性。