二手 BOSCH VS24C #9097913 待售
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ID: 9097913
RF Magnetron Deposition System
Chamber: 24" dia x 12" H
Dual 19" instrument rack
CTI Cryo-Torr 8 Cryopump, side mounted, high conductance valve
CTI 8300 Compressor with 8001 controllers
RF power supply: 2kW, matching system as bias
(1) 14" Magnetron source with R match system, Al2O3 target
Vacuum gauges valve and process control systems
Temperature and thickness control
Electro pneumatically actuated valves
VCS vacuum system controller provides automatic valve sequencing, pressure readout, and executive control of process
VSC can sense analog and digital signals, RS-232.
BOSCH VS24C是一組用於各種薄膜沈積應用的濺射系統。該系統可用於將鋁、鉻、矽、鈦、鉬和鎢等材料薄層沈積在基板和其他表面上。這些系統具有兩個、四個或八個使用直流、脈沖極化直流和/或射頻信號的大功率源。該設備還具有先進的精密薄膜沈積工藝控制功能.它對每一個源都有獨立的電源控制，允許精確和可重復的沈積。此外，它的多槍特性使它能夠在單個基板上沈積具有不同成分的多層薄膜。這樣可以提高生產不同層時的精度。其加工室設計為提供均勻、均勻的沈積環境。它具有真空互連歧管，可以方便地連接到外部真空泵、歧管和其他輔助系統。這樣可以實現快速高效的設置和配置。此外，它還具有渦輪分子泵，它允許較高的沈積室壓力和更快的沈積時間。除了提供一致的性能外,VS24C還提供簡單的操作。該系統包括一個數字液晶觸摸屏顯示屏，可以方便地監控流程參數和源設置。此外,它的快速參數輸入和召回功能旨在簡化腳本編寫並增加靈活性。總體而言，BOSCH VS24C是一個功能強大且用途廣泛的濺射裝置。它具有先進的工藝控制、均勻的沈積環境和方便用戶的控制，為各種薄膜沈積應用提供了可靠的方法。機器處理速度快，操作方便，非常適合任何研究或工業應用。
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