二手 CANON / ANELVA 1051 #9389730 待售

CANON/ANELVA 1051是行業領先的濺射沈積設備，用於物理氣相沈積（PVD）。它是一個單目標系統，具有高速磁性型空氣軸承主軸，允許在大面積和基板上進行高效、均勻的塗層。該機組配備了10個石英目標架、具有圖形操作員界面的先進PLC（可編程邏輯控制器）、自動過程控制系統以及包括O2、CO2、Ar、Nitrogen在內的各種氣體控制配置。CANON 1051能夠實現高達400 nm/min的快速濺射速率和高達2000 v的目標電壓。這使得它非常適合鋁、不銹鋼和鈦等基材。它提供了具有縮回目標的兩步過程,允許用戶快速切換材料和氣體以達到特定的性能要求。機器是完全自動化的，經驗豐富的操作員能夠實現可重復、高度精確的過程。ANELVA 1051配備了可調電源和頻率範圍，可以從0-3000瓦定制。另外還有一個工藝參數，如壓力、氣流、冷卻主軸溫度等，可供進一步定制。低真空壓力監測、自動壓力關閉、溫度控制和水冷等安全特性確保了該過程的無風險完成。此外，還提供數字輸出，用於對過程結果進行一般監測。總之，1051是一種可靠、精確、安全的濺射工具，可以讓用戶在周轉時間短的情況下獲得高效的效果。廣泛應用於半導體、平板顯示器、太陽能電池制造，因其精細先進的特點。