二手 CANON / ANELVA 1060 SV2+1 #9210357 待售

CANON 1060 SV2+1是市場上最先進的濺射系統之一。它是為超高速薄膜生長和沈積過程而設計的。它是一種多源濺射設備，利用兩個陰極和一個凸起的下降坩堝。兩個陰極可以是Magnetic （MP）或Planar （PP）型。凸起的下層crucible使系統能夠在單個循環中用不同的材料覆蓋基板的兩側。1060 SV2+1的應用範圍廣泛，包括顯示器、半導體、光伏（PV）、光電行業。它能夠濺射多層薄膜堆棧的復雜圖樣,對厚度、組成和層輪廓具有高度的均勻性和精確的控制。該裝置也特別適合於氮化物薄膜的沈積。1060 SV2+1利用先進的現場監測和控制系統，確保基板質量和完整性在整個沈積過程中得到維護。它采用集成閉環機來監控和控制壓力、溫度、功率、電壓和電流等各種基板參數。該工具還具有先進的視覺資產，可捕獲基板的高分辨率圖像，並允許快速和準確的過程調整，以確保一致性和可重復性。該模型還采用了自動負載鎖，減少了基板交換和加工步驟之間的工作室汙染。通過避免人工幹預和臺階清洗，它確保了從負載鎖到沈積室的清潔和快速轉移。1060 SV2+1還提供了可選的低溫預濺射工藝。此過程可用於蝕刻後清洗、高分辨率圖樣以及其他需要低溫處理的步驟。總體而言，ANELVA 1060 SV2+1是一款高性能的濺射設備，因其精確的控制、廣泛的應用以及原位監控系統而被廣泛應用於許多行業。它為各種材料和基材尺寸提供了快速、高效和可靠的加工。該系統能夠提供優異的效果，對於任何沈積過程都是強烈建議的。