二手 CANON / ANELVA 1060 #9155413 待售

CANON / ANELVA 1060
製造商
CANON / ANELVA
模型
1060
ID: 9155413
晶圓大小: 6"
優質的: 2002
PVD System, 6" Process: Ti / TiN / Wsi 2002 vintage.
CANON/ANELVA 1060是一種高性能濺射設備,專為研究內含而設計。這種獨特的突角磁控管濺射(AAM)系統使研究人員能夠以精確和可重復性將所需材料的超薄膜沈積到基板上。該裝置采用完全封閉的LT濺射室,由源、靶、基板和控制模塊組成,能夠以各種腔室大小和形狀對材料進行體積沈積。它還具有以磁性或平面構型濺射的能力,以獲得所需的沈積剖面。該機配備了ABUDRUPT類型的交流等離子體源,允許在不同材料之間快速、方便地切換。這種磁性等離子體源與平面幾何的組合保證了材料以均勻一致的方式沈積在基板上。CANON 1060獨特的設計也使沈積過程得到更大的控制。可以用集成的雙通道電源精確控制陰極電位,讓精確量的材料在不同條件下濺射。該工具還具有可調節的射頻電源,旨在提高沈積膜的均勻性。此外,該資產還配備了主動過濾器,旨在清除大氣中的顆粒汙染,提高濺射膜的均勻性。總體而言,ANELVA 1060是一種先進的濺射模型,能夠制造出具有所需性能和均勻性的薄膜。它是為各種研究應用而設計的,從工業到科學,使得它成為任何人尋找可靠和可靠的濺射設備的理想選擇。其創新設計允許精確控制沈積過程,確保一致的高質量薄膜。1060是任何為研究或生產需要而尋找尖端濺射系統的人的理想選擇。
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