二手 CANON / ANELVA 1060 #9155414 待售

CANON/ANELVA 1060是一種用於薄膜沈積的濺射設備。CANON 1060是一種具有反應性濺射能力的脈沖濺射系統，可處理直徑達8英寸的大小基板。ANELVA 1060可以在磁性和常規功率下運行,並在廣泛的能級上提供穩定的獨占蝕刻和薄膜沈積,具有卓越的可重復性。1060使用直流電源，可靠高效，無論電源或基板尺寸如何，都能保持恒定電壓。這意味著CANON/ANELVA 1060可以很容易地調整以滿足所需的沈積條件。CANON 1060還配備了測壓單元和氣流控制機，可實現精確的壓力和氣流輸入。這允許精確控制濺射參數，如薄膜密度、均勻性和沈積層之間的間隙。ANELVA 1060還有一個獨特的等離子體限制工具，可提高大表面積上沈積的均勻性。這一資產利用磁鐵在真空室內產生磁場，用於控制等離子體並提供均勻的離子密度。另外，1060還能夠有一系列不同的操作模式，如低壓、高壓和單頻/多頻濺射。這允許在沈積過程中具有靈活性，允許跨行業的廣泛應用。CANON/ANELVA 1060還配備了環境傳感器，可以監測腔室的環境溫度，也可以測試有害排放。此外，CANON 1060的設計目的是通過監測和維護室內的安全環境來確保清潔和安全的操作。總體而言，ANELVA 1060是一種先進和可靠的濺射模型，可在各種底物上提供一致和均勻的沈積。其輸出各種操作模式的能力可以實現廣泛的應用，而其環境監測設備意味著1060可以在安全和有保障的環境中運行。