二手 CANON / ANELVA APT 5800 #9158872 待售

CANON/ANELVA APT 5800是CANON Corporation開發的反應堆，作為多種材料的先進加工工具。這種工業級工具設計用於微電子、光電子、醫療電子等高壓高溫加工應用。它也被用於等離子體沈積、濺射沈積、碳納米管沈積等多種其他工業和研究應用。CANON APT 5800利用專利的三維（3D）散熱設備,能夠精確精確地控制溫度。該系統將ANELVA APT 5800渲染為一系列不同應用程序的強大工具。此外，這座反應堆還設有高功率氣體分配裝置，以及可精確控制高達11,600 °C溫度的五區溫控機。三維散熱工具有助於確保對材料施加熱量時效果一致。利用這一資產，溫度仍然集中在晶圓的高度特定區域，從而產生更準確和統一的結果。此外,APT 5800采用先進技術設計,可最大程度地減少對相鄰部件和設備的任何重大加熱影響,同時保持工藝溫度的精確控制。這樣可以確保在廣泛的應用中實現高質量的產品。此外，反應堆采用了淋浴頭式氣體擴散器，可實現精確和均勻的氣體分布。此功能提供了改進的結果,例如提高了工藝穩定性以及改善了材料的附著力和控制力。CANON/ANELVA APT 5800還具有一個整體梯形緩沖器，設計用於安裝氣體擴散板的沖洗；這種設計允許一個更大的反應室，為更大的應用提供更大的容量。總之，CANON APT 5800是一種強大的反應堆，可用於多種高溫處理應用。設計精密控制，精確度高，具有先進的技術元件，保證高質量的效果。該反應堆是任何需要在高壓高溫環境中精確溫度控制的應用的完美工具。