二手 CANON / ANELVA C-7010 #9379072 待售

CANON/ANELVA C-7010是設計用於薄膜生產的高端濺射設備。該系統利用陰極電弧蒸發和磁控濺射技術將塗層沈積在陶瓷、金屬和半導體等基板上。CANON C-7010能夠在一定厚度範圍內將指定材料均勻地應用到基板上，蒸發過程的許多關鍵參數能夠得到調整。該裝置采用標準的Turbocuspision陰極電弧源，能夠提供尖銳的偏差和非常高的沈積速率。其中包括一臺先進的預處理機，用於提高沈積過程中的均勻性和減少電弧事件。基板加熱源是陶瓷紅外散熱器，可加熱至500 °C，允許高溫沈積和快速熱退火等過程。該工具提供的其他功能包括Auto Film Thickness Monitor（自動薄膜厚度監視器）,這是一種自動功能,可用於補償基板尺寸和厚度的差異,以及用於在基板兩側沈積薄膜的背面濺射源。該資產還能夠進行基板操作,以允許復雜的基板形狀和大小。ANELVA C-7010還包括一個高度高級的控制軟件包,為用戶提供用於作業設置、操作監視和數據日誌記錄的PLC和SCADA級別功能。隨附的緊環腔室控制軟件有助於保護模型不受磨損，確保膜沈積過程既有效又可重復。最後,C-7010還包括緊急停止等安全功能,以及用於高效空氣凈化的緊急排氣設備。該系統已通過高級潔凈室標準認證，並定期測試是否符合現有潔凈室協議。