二手 CANON / ANELVA C-7100 #9154703 待售

ID: 9154703
晶圓大小: 8"
優質的: 2009
Sputtering system, 8" (3) Chambers 2003 vintage.
CANON/ANELVA C-7100是一種以優質薄膜沈積能力著稱的高端物理氣相沈積設備。該系統采用雙陰極磁控管濺射技術,具有多種特點,適用於廣泛的應用。CANON C7100的主體包括一個腔室,內部有各種組件。該室是氮氣密封的,因此由於其有效的提取反應副產物而能夠快速的沈積過程。電離量規在工件周圍保持一個離子球,確保高表面純度。它還具有一個渦輪分子泵,可以將腔室排空到大約1 x 10^-5 Torr或更高的壓力。這個裝置的設計是為了方便地處理各種物質。其標準配置提供了沈積純金屬、合金、化合物、陶瓷材料、有機材料等。此外,它的可伸縮平臺支持對該過程進行高分辨率的頂視圖觀察。還提供了多用途設置,以便可以獨立調整陽極和陰極參數。ANELVA C 7100內置了控制工件上薄膜沈積的過程,以及諸如開/關命令之類的遠程控制功能和循環啟動控制。它還包括冷卻和加熱功能,這些功能允許溫度控制,這對於維持腔室中的恒定過程至關重要。這一設施進一步使沈積過程能夠根據基材的類型、沈積模式和工藝溫度進行微調。總體而言,ANELVA C-7100機是一種非常先進和可靠的濺射工具,適用於各種物質的薄膜沈積。其無與倫比的質量和精確的薄膜沈積,以及對各種參數的高效處理,使其成為業界備受追捧和可靠的工具。
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