二手 CANON / ANELVA C-7100GT #9281807 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9281807
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
PVD System, 12"
(3) Chambers:
Chamber 1: TiN
Chamber 2: TiN
Chamber 3: SiO2 ETCH (A-CH)
Pre-clean chamber
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / - / D-Chamber
(4) / 99009-58901 / DC5KW Plasma generators Dual, QIP
(4) / 1055-08698 / Stages, RF 2PVD
(8) / 1055-17508 / Sheet, carbon stages
(4) / 1038-05492 / Quartz rings, PY362
(1) / - / D-Chamber rack
(1) / - / Cable
(4) / 1042-17090 / 25V 250W Heaters
(1) / 9007-58377 / Termo couple, RD310
(3) / 0111-90397 / Multi navi
(3) / N50023210 / Ion gauge controllers
(9) / N12004545 / Lamp heater powers
(3) / 9006-86546 / RF Power supplies 2KW (AX-20003A)
(1) / 9001-14094 / LL / Slit valve
(3) / 9001-13959 / PVD Slit valves
(4) / N20208864 / Z, Sensor controllers
(12) / 1042-17090 / 25V 250W heaters
(3) / 9007-58377 / Thermo couples, RD310
(3) / N50023131 / Stabil-ion gauges
(3) / N50025919 / Baratron gauges
(5) / - / Brakets
(20) / 1063-41277 / PLCs
(20) / 1071-76104 / PLCs
(20) / 1072-27727 / PLCs
(4) / 9007-60358 / Thermo couple controllers
(1) / 9007-61508 / CCD
(4) / 9007-58822 / CCD Cameras
(4) / N20208711 / Z, Sensor
(1) / 9014-41321 / TR Robot EE
(1) / 9009-87803 / EFEM Robot EE
(9) / - / Destrubting sheets
(1) / 1042-08203 / Lamp heater assy, connect
(1) / 1037-34502 / Heater base
(3) / 1042-17090 / 250W 25V Heaters, (2) assys
(1) / 1042-17171 / Cable, heater assy
(1) / 1023-20960 / Shutter shaft cover
(1) / 1037-27377 / Stage, RF (2) PVD
(8) / 1055-08698 / Springs, hold stage
(1) / 1055-17427 / Quartz ring, PY362
(3) / 1038-05492 / Quartz RPIN, L15xD5
(2) / 1046-92614 / Bolt, location al203
(3) / 1057-53934 / Stopper pins
(16) / 1035-18922 / H3 x 8, AG
(20) / N31000015 / S SUS304 WA x 3 Flat washers
(2) / TMF-403M / RF 2PVD
(10) / - / Shield adaptors
(10) / - / HE Elbows
(2) / - / Power cables
(4) / - / LID Lamp heaters
(1) / - / Maintenance USB port
(3) / - / PLC Racks
(1) / - / Heater connection box
(1) / - / SMKE Sensor
(1) / - / EMO
2011 vintage.
CANON/ANELVA C-7100GT Sputtering Equipment是一種用途廣泛、高效的濺射系統,可用於將保形薄膜沈積到各種尺寸的基板上。它能夠濺射電阻和電子束過程，以及多種薄膜類型、厚度和成分。CANON C-7100GT由一個緊湊的兩級單元組成，該單元裝有兩個反應式（磁控管）和一個直流電濺射室。ANELVA C-7100GT專為更高功率的過程而設計，一次最多可沈積兩層膜，允許膜的原位沈積，如金屬和電介質的交替層，以及復雜的疊層和高縱橫比結構。C-7100GT配有完全可編程的直流電源和固態繼電器，以確保對所有工藝參數的精確控制。該機還可以配備可選的射頻電源，用於磁控管濺射應用。除了濺射站之外，CANON/ANELVA C-7100GT還包含一個多室基板轉移工具（MCT），用於從濺射室裝卸基板。MCT使得及時更換基板更加容易，同時也允許方便的基板轉移和加熱腔室。CANON C-7100GT還具有高容量渦輪源，用於更精確的目標、高沈積速率和更大的塗層均勻性。在安全性方面，ANELVA C-7100GT具有真空互鎖資產，可防止加工室打開，而該室沒有得到適當的疏散。這與密封室一起，確保操作過程中沒有危險氣體暴露風險。C-7100GT還有一個集成的緊急停止按鈕和熱監測模型，以保護設備和操作員。總之，CANON/ANELVA C-7100GT濺射設備是一種高效且用途廣泛的濺射系統，非常適合將保形薄膜和復雜的覆蓋層沈積在基板上。它配有兩個反應性和一個直流濺射室，以及一個多室基板傳遞單元和高容量渦輪源，用於精確的目標控制和高沈積速率。該機還融合了多種安全功能，如真空互鎖工具、密封室、緊急停止按鈕等。
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