二手 CANON / ANELVA C-7100GT #9293803 待售
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ID: 9293803
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
System, 12"
CANON / ANELVA xT
(2) PVD Chambers
2006 vintage.
CANON/ANELVA C-7100GT濺射設備是一種先進的生產工具,可用於多個濺射應用。它是一種高性能、經濟的濺射系統,旨在將金屬和介電膜沈積到各種基板上。CANON C-7100GT配備了電子回旋共振(ECR)源,這使得沈積速度比標準濺射過程更快,並且提高了薄膜均勻性和更高的沈積速率。ANELVA C-7100GT是一個四室單元,由放置在一個真空室內的四個濺射源室組成。每個濺射源腔的設計目的是為需要塗覆均勻膜的表面產生高度均勻的目標材料層。它還有一個很大的目標區域,可以容納200毫米大小的大型基板。它包括一臺高精度的X-Y運動機器,允許在濺射過程中進行高度微調,以及一個自動化的環境控制工具,幫助管理和維護一個穩定的過程環境。C-7100GT能夠利用各種濺射氣體生產各種真空沈積膜,例如氙氣、k氣和氙氣。它使用高頻ECR發生器在低溫下維持高沈積速率,從而提高塗層均勻性。此外,其較大的溫度控制範圍使CANON/ANELVA C-7100GT理想的特殊應用,如非常薄的薄膜沈積和特種塗層。資產還具有多項安全功能,如故障安全關機模型、車載數據記錄設備以及運行溫度和壓力控制系統。總體而言,佳能C-7100GT濺射裝置是一種可靠、高效的濺射應用工具。該機具有ECR源、高沈積率、目標面積大、溫度範圍廣等特點,是生產產品表面和部件金屬和介電膜的理想之選。這是一個經濟的選擇,是完美的長期,大批量生產和特種塗料的應用。
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