二手 CANON / ANELVA C-7150C #9107305 待售

CANON/ANELVA C-7150C是為薄膜沈積工藝設計的濺射設備。它是一個脈沖直流磁控管濺射系統，具有適用於研發實驗室和制造業的緊湊設計。它具有全方位的濺射壓力控制，允許快速高效的工藝優化。CANON C-7150C的艙體尺寸為170 x 170 x 500 mm,最多可容納14個樣品,無論是在船上還是在針式支架上。它配備了四個多磁控管，一個可旋轉，兩個靜止和一個偏置。可轉動磁控管頭包括一個可調電極單元，允許在腔內進行目標優化，以確保膜沈積均勻。基板支架用內置的精細控制加熱器進行熱調節，使生產的薄膜具有極好的均勻性和可重復性。ANELVA C-7150C的控制單元配備了易於理解的用戶界面，能夠輕松配置和監控濺射過程。其他功能還包括高速真空泵，用於快速腔室疏散，減弧氣流調節（對於容易受到弧線影響的材料），以及帶有可選軟件包的車載分析儀，用於進一步的過程控制和監控。機器在低工藝溫度下運行，防止熱敏材料受損，並提供低汙染速率。此外，它的寬頻率範圍和可調電源使它可以同時用於低密度和高密度材料，同時用於保護性和裝飾性塗層應用。總體而言，C-7150C為可靠的濺射沈積工藝提供了一整套功能，利用其精確的功率輸出、均勻性和均勻薄膜塗層的穩定性。它非常適合需要高質量塗層的行業，如航空航天、汽車、光電、醫療、食品加工等。