二手 CANON / ANELVA C-7300 #9366161 待售
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單擊可縮放
ID: 9366161
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Sputtering system, 12"
Non-SMIF type
Wafer type: Notch
Pin chuck
Operation system: Windows
Missing parts:
CHM Stage heater
Load lock cryo pump
2010 vintage.
CANON/ANELVA C-7300是由CANON Corporation設計制造的磁控濺射塗層設備。為滿足表面加工和沈積應用日益嚴格的要求而開發的CANON C-7300采用遙控陰極磁控管濺射（CMS）工藝，非常適合塗覆大面積、高均勻度的部件。ANELVA C 7300由兩個主要部件組成：加工室和磁控管電源.該室主要由工藝室、氣箱、真空泵和冷卻劑供應以及磁控管濺射槍組成。在加工室內部，磁控濺射槍安裝在腔壁上，讓濺射槍在順時針和逆時針方向上都能不受限制地旋轉。氣體通過腔室側面的氣箱引入，而疏散泵則調節腔室內部的壓力。位於加工室外的磁控管電源通過高壓電纜與濺射槍相連。CANON/ANELVA C 7300利用了高效的CMS工藝，其中通過內部場加速向目標的負離子被吸引到樣品上，形成充滿了通電原子的低壓等離子體。這些原子對樣品的轟擊產生了一層薄而均勻的所需材料。通過使用快門陣列，可以精確控制濺射材料從目標到樣品表面的傳輸。C-7300系統設計用於精確控制沈積速率、薄膜厚度、階梯覆蓋率和所得薄膜的組成。其人性化的界面允許方便地訪問泵速、壓力、流量和功率等單元參數，使機器的設置和操作能夠根據應用得到快速優化。為了安全起見,該工具包括溫度和暴露防護措施,以及用於立即訪問資產參數的PC式O/S。C 7300濺射塗層模型是薄膜沈積在基板上的理想選擇。它對沈積功率、氣體流量和壓力等參數的精確控制，提供了任何其他現有濺射塗層設備無法比擬的定制程度。此外,其強大的設計和高質量的組件可確保可靠的性能和長期可用性。
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