二手 CANON / ANELVA E-402S #9188024 待售

CANON/ANELVA E-402S是一種先進的濺射設備，用於在各種基板上沈積薄膜。它具有先進的功能和可靠的性能,非常適合用於生產高性能電子設備。佳能E-402S利用四片平面磁控管濺射頭進行均勻的薄膜沈積。它還具有自動濺射高度調節器，易於處理和精確。該系統還具有雙電壓脈沖功率的能力，可實現精確的薄膜控制，具有尖銳的濺射速率和輪廓控制。ANELVA E-402S有一個由不銹鋼構成的高真空室。它還有一個基於電源，獨立的渦輪真空裝置，以及一個真空互鎖機，用於全面的安全控制。它提供了一系列的超聲波清洗選項和25級基板加熱器，一個優秀的溫度控制。該工具具有高達380°C的最高典型工藝溫度,包括溫度監控、RF/DC小濺射、偏轉校正、高速工藝和10⁻⁴ mbar的超高真空（UHV）。它還具有一個自動腔室清潔資產與先進的過濾模型徹底腔室清洗。E-402S是一個可靠和堅固的設備。它具有許多特點，使其非常適合制造高級電子元件。它允許對各種參數進行精確監控,並提供制造高性能組件所必需的各種工藝功能。