二手 CANON / ANELVA E-730S-FH #9167771 待售

CANON/ANELVA E-730S-FH是一種用於半導體制造的濺射設備。該系統能夠在晶片上濺射介電層和金屬層。它還可以濺射陶瓷和合金層。CANON E-730S-FH允許用戶輕松控制工藝參數，如氣體壓力、氙氣（AR）壓力、溫度和沈積氣體壓力。這些參數可以調整以滿足用戶的需求。該單元還具有脈沖蝕刻功能，允許用戶調整脈沖蝕刻以優化其沈積速率。ANELVA E-730S-FH具有直徑960毫米的濺射室。這樣可以濺射尺寸不超過13英寸（312.85毫米）的大型晶片。該機還配備了雙頻電源,可提供多達4.2kW個的電源。該電源可用於產生直流和高頻射頻濺射沈積。E-730S-FH旨在提供高質量、可靠和高效的濺射。它配有閉環氣體控制工具，以確保在整個濺射過程中保持所需的工藝參數。這一資產可用於濺射各種材料，如鋁、銅、鉻、​​的，以及薄膜。該模型還具有真空控制設備，有助於確保沈積材料的高純度。該系統旨在避免空氣泵降低沈積速率，同時也是為了限制真空室中積聚的灰塵。CANON/ANELVA E-730S-FH配備了視覺和聲音警報。如果過程中出了問題，操作員可以用報警指示燈輕松監控機組狀態。該機器還使用戶能夠將多個系統鏈接在一起，並以自動化的方式安全運行它們。此功能允許多個濺射系統同時運行,同時確保所有部件正常運行。此功能有助於提高效率並降低濺射成本。總體而言，佳能E-730S-FH是一種可靠高效的濺射工具，能夠產生高質量的沈積層。此資產可用於研究和制造應用。