二手 CANON / ANELVA E-800S #293830303 待售

CANON/ANELVA E-800S濺射設備是一種最先進的薄膜沈積工具，設計用於各種生產和研究應用。該系統采用自動密封室設計，最多可安裝八個裝載鎖，以便快速裝載基板。該裝置能夠使用最先進的濺射技術，包括離子輔助濺射、高密度磁控管濺射、反應性濺射和脈沖直流濺射。佳能E-800S具有兩個主要的濺射系統，一個24通道電阻源和一個18通道高密度磁控管源。根據所需的沈積，這兩個來源都可以配備不同的目標材料，並且可以組合用於更復雜的薄膜結構。ANELVA E-800S還采用雙離子和三離子輔助濺射技術,利用兩個或三個離子源同時工作,增加撞擊離子的能量,降低底物的電荷,提高沈積均勻性。這一特點還允許幾乎任何材料以最高質量沈積，包括難以沈積的基材，如鉆石和矽基材料。此外，E-800S具有低HiPIMS（高功率脈沖磁控管濺射）模式，使沈積速率增加一倍，同時保持同樣優質的薄膜。這臺機器上的其他選項還包括一個手載源和氙氣、氫氣或氮氣電容耦合等離子體源。這些替代沈積技術可提供高沈積速率、低附著力和優異的均勻性。CANON/ANELVA E-800S配備了先進的計算機工具，包括直觀的觸摸屏界面和實時數據采集，用於全面的流程和工具性能監控。該資產還具有自動過程控制和自動校準腔室參數的功能。開放、用戶友好的軟件使存儲、處理和生成食譜變得容易。作為一個附加的安全特性，該模型包括一個可選的互鎖開關，它可以防止在打開腔室時意外激活源。總體而言，佳能E-800S是一種高度先進的濺射設備，能夠提供極其均勻可靠的薄膜沈積。該系統具有多種自動化功能,可用於最具挑戰性的沈積要求。無論是研究還是工業生產，ANELVA E-800S都是一種可靠高效的薄膜沈積工具。