二手 CANON / ANELVA EVC-1501 #9031250 待售

CANON/ANELVA EVC-1501是一種高真空濺射沈積設備，用於將高質量、均勻分布的薄膜沈積到基板表面。它專為非常苛刻的工業和研究應用而設計，如印刷電子和OLED顯示器。該系統配有一個鎖載室，在過程中提供低壓環境，使濺射過程能夠在受控條件下進行。CANON EVC-1501可以在平面或旋轉濺射模式下運行,並且能夠同時進行單目標和多目標濺射。該單元有一個多區域處理室，稱為可變控制區（VCZ），它允許用戶控制所創建塗層的強度和均勻性。VCZ能夠移動基板相對於目標的位置,從而使濺射過程能夠按照用戶要求進行自定義。該機配備了高強度直流磁控管濺射源，能夠制造出附著力和均勻性都較高的薄膜塗層。由於其低濺射設計，其使用壽命延長，能夠以較高的沈積速率運行。該工具具有用於濺射的2.4kW射頻功率放大器，可調節功率範圍為30-150 V。它還配備了變頻發電機，用於提高對濺射過程的精度和控制。該資產還帶有自動氣體控制功能,能夠對沈積氣體流動進行精確控制。此外，該模型有一個穿梭載體，允許基板被快速和容易地轉移。它還配備了計算機控制設備，便於訪問軟件、網絡和外圍設備控制。該系統還具有氮氣凈化功能，確保適當的濺射後清洗腔室。最後，ANELVA EVC-1501是在工業和研究應用的基板上濺射薄膜的經濟高效可靠的解決方案。它以其令人印象深刻的鎖載室、可變控制區、調節功率放大器、自動氣體控制、航天飛機載波和計算機控制單元而與典型的濺射系統區別開來。所有這些功能都能產生經濟高效的高性能濺射機器,非常適合當今苛刻的研究和工業濺射需求。