二手 CANON / ANELVA EVC-1501 #9048865 待售

CANON/ANELVA EVC-1501是一種先進的高精度濺射設備，能夠進行精確的金屬或介電薄膜沈積。它利用先進的特性，如提高沈積速率和質量，由於亞微米層厚度精度是采用電子，光電，和MEMS應用。該濺射系統利用電子束槍進行質量中和和電磁環境控制（EMEC）單元，使其亞微米層厚度一致。沈積速率高，穩態工作壓力約為0.1 mBar至1 mBar，最大目標電流為150 mA。此外,絕緣電壓可調從0到150 V,允許您根據需要調整塗層的厚度和均勻性。此外，沈積可以在反應性或非反應性大氣中進行，其室溫操作能力可達15個單位。該機還配備了高性能的高真空渦輪分子泵，為操作室提供了快速、高效的疏散速率。此外，該工具還具有先進的粒子監控器和泵降監控器，可對疏散過程進行高級控制。這有助於準確可靠的沈積過程。CANON EVC-1501還具有高速率輸出脈沖發生器，允許用戶實施快速脈沖濺射。它進一步允許用戶采用各種模式控制功能，如氧化物-氮化物薄膜沈積、晶粒尺寸控制和介電性能控制。整體而言，ANELVA EVC-1501濺射資產是為金屬或介電薄膜的沈積而設計的先進、精確的濺射模型。它具有改進沈積速率和質量的多項先進特點，如改進亞微米層厚度精度、可調絕緣電壓和優質真空渦輪分子泵，以便高效排空。它還允許應用許多屬性，從而實現高層均勻性和廣泛的應用。