二手 CANON / ANELVA EVC-1701 #293820426 待售

ID: 293820426
晶圓大小: 6
EB Evaporator, 6".
CANON/ANELVA EVC-1701是為先進材料加工制造的最先進的濺射設備。它是為各種設備應用的材料薄膜沈積高效運行而設計的高端系統。該裝置能夠處理最大操作壓力10-3托的材料,並可以利用多種原料,如貴金屬、陶瓷、氧化物、合金、電介質、金屬和非金屬。該機還具有改變濺射過程條件的能力,如壓力、功率、基板速度、基板偏置電壓、腔室溫度和氣體流量,以達到最佳性能。這有助於獲得厚度精確、性能理想的高質量薄膜。機器具有基於圖形化菜單驅動菜單工具的用戶友好界面。真空室還配備了一個特殊的二極管泵浦吸收監測器,能夠對濺射過程進行動態、實時的監測。這反過來又有助於保持所需的工藝參數,確保沈積材料的質量一致。資產還提供了高級控制功能,允許用戶根據特定的應用要求量身定制模型的操作參數。例如,可以將設備設置為自動將噴嘴移至距基板表面一定距離,以便在濺射過程中獲得特定的覆蓋區域。此外,軟件還提供閉環反饋控制,確保在濺射過程中始終保持一致的結果。CANON EVC-1701系統是一系列先進材料加工應用中薄膜沈積的理想選擇。其用戶友好的界面使操作變得容易,而高級控制功能則允許用戶調整操作參數,以最適合他們的應用要求。特殊的二極管泵浦吸收監測器對濺射過程提供動態、實時的監測,確保了最高質量的結果。
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