二手 CANON / ANELVA EVC-1701 #9107302 待售

ID: 9107302
EB Deposition System I/C5 Missing 1995 vintage.
CANON/ANELVA EVC-1701是為沈積、薄膜塗層和蝕刻應用而設計的高性能微濺射設備。該系統是滿足新出現的真空塗層需求的高效、經濟高效的選擇。該單元采用單陰極工作室與電動傾斜調節等離子體均勻性.腔室由低振動特性的鋁和不銹鋼構成,並配有內置真空泵。包括多功能快門控制器和手動調節氣閘門。陽極由高頻發電機供電,可用於控制功率密度、脈沖寬度和頻率。這樣可以精確控制塗層工藝。機器使用直流電源,在高達1千安的電流下輸出電壓可調0至1,500伏。CANON EVC-1701工具裝有三級濺射槍。該槍包括水冷資產,可調節功率水平和各種沈積形狀如圓,線,正方形和三角形。水冷模型減少了對基板的熱損傷,並確保了一致的濺射速率。該設備可用於多種基材,包括金屬、玻璃、塑料和陶瓷。它設計用來在不規則形狀和非矩形基板上生產均勻的膜塗層。其他功能包括用於控制沈積區域的前窗口選項。窗戶由耐腐蝕石英制成,能夠承受高達1,000 °C (1832 °F)的溫度。ANELVA EVC-1701系統設計緊湊,安裝空間最小,可輕松集成到任何生產線中。通過其用戶友好的操作面板和數字顯示器,EVC-1701濺射裝置為眾多應用程序提供了理想的解決方案。
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