二手 CANON / ANELVA EVC-1701 #9181769 待售

CANON/ANELVA EVC-1701濺射設備是一種高科技的自動化系統,旨在生產各種金屬和材料的薄膜,用於工業應用。該裝置結合了佳能濺射沈積技術和C-1701真空沈積控制器，實現了優化性能。它具有先進的濺射技術，包括用於平面和凸面應用的雙磁控管配置。佳能EVC-1701能夠為各種器件結構生產低沈積率和高沈積率的薄膜。該機設計為在超高真空（UHV）條件下運行，可以處理廣泛的濺射化學和底物溫度。內置設備可以準確監測和控制關鍵參數，如濺射速率、氣體流量、電離速率、薄膜厚度和沈積速率。該工具配備了一系列專門的配件，以促進濺射工藝的最佳定制。這些配件包括一系列基板、基板加熱器、準直器、靶板和襯板。基板加熱器可精確控制基板溫度,可達350 °C的溫度。準直儀用於控制濺射羽流的形狀和面積。ANELVA EVC-1701還具有精密的氣體輸送資產，可對濺射過程和結果進行最佳控制。自動氣體箱的設計既能產生低壓和高壓濺射條件，又能可靠地滿足不同濺射過程和薄膜沈積速率的要求。總體而言,EVC-1701是生產優質設備的緊湊高效模型。它采用先進的濺射技術設計，能夠對沈積過程進行可靠的控制。設備方便定制，使用方便。CANON/ANELVA EVC-1701具有自動化氣體輸送系統和內置設備,非常適合用於先進的工業應用和設備制造。