二手 CANON / ANELVA EVC-1701 #9269417 待售
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CANON/ANELVA EVC-1701是為薄膜沈積而設計的濺射設備。它具有先進的直流(DC)濺射電源和創新的成形控制技術,使其能夠為厚度均勻的小部件和器件生產高精度薄膜。濺射系統能夠通過磁控濺射過程和磁控濺射過程來沈積材料。電源使用戶能夠精確控制沈積速率,生產薄而均勻的薄膜。這種控制是可能的,因為將閉環單元與板載脈沖發生器結合在一起。脈沖發生器由有源光束控制(ABC)機支撐,該機測量沈積過程中的精確電壓,以實現精確和可重現的薄膜沈積。佳能EVC-1701還提供磁控管濺射技術,用戶可以精確控制薄膜的特性和形狀。磁控濺射是比直流濺射更先進的濺射過程,因為它可以在基板表面上形成更多的角度形狀。這項技術主要可用於生產金屬薄膜,如銅和鋁,而不會改變薄膜成分。該工具支持從大型基板到復雜形狀和幾何形狀的不同應用範圍。它與CANON Monacloud系列基板兼容,範圍從大的矩形片,也可以將薄膜直接沈積到三維形式的復雜表面元件上。除濺射技術外,ANELVA EVC-1701還具有內置加工室、氣流控制可調節質量流控制器、輸送到氣室的可選擇氣流、自動熱管理、方便用戶的菜單資產等多種特點,方便設置沈積過程。EVC-1701是一種具有廣泛應用的高級濺射模型。它對沈積速率的精確控制,均勻的薄膜和出色的形狀控制,使其成為廣泛的工業和研究應用的理想選擇。
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